Korea VirusResearch Institute

전계방사형 주사전자현미경은 Low vacuum 모드와 High vacuum 모드를 모두 활용할 수 있고 SE (Secondary electron) detector, BSE (Back-scattered electron) detector, EDS (Energy dispersive X-ray spectroscopy), EBSD (Electron back-scatter diffraction) 장치가 부착되어 있어서 생명, 나노, 화학, 물리, 재료 과학 분야의 시료들을 대상으로 초고분해능 표면 이미징 획득, 표면 원소 성상 분석, 결정의 구조, 형태, 방향성 등을 파악할 수 있는 다목적 이미징/분석 장비로 분석 지원이 가능합니다.

전도성 및 비전도성 시료를 분석할 수 있으며, 비전도성 시료를 분석하는 경우에는 고해상도 분석에 필요한 진공 필름 증착을 할 수 있는 전도성 Pt 코팅 또는 카본 코팅에 필요한 전처리 장치(Leica사, 모델: EM ACE 600)를 사용하고 있습니다.

SE detector와 BSE detector는 수십V – 30kV의 가속 전압 범위에서 수 Å(옹스트롬) - 수 μm 수준의 분해능을 가진 시료의 표면 이미지를 얻을 수 있습니다.

그 외의 주요 기능으로 STEM (Scanning transmission electron microscopy)과 CLEM (Correlative light and electron microscopy) 등이 있으며, STEM은 시료 표면의 형태와 정보뿐 아니라 내부 이미지 관찰이 가능하여 낮은 전압(30 kV 이하)의 투과전자현미경 결과물을 얻을 수 있습니다. CLEM 기능은 광학현미경과 전자현미경을 연계하여 전자현미경 이미지와 형광으로 염색된 특정 위치의 단백질 이미지를 겹치게 하여 새로운 생명 현상을 규명하는 데에 활용할 수 있도록 분석 지원을 하고 있습니다.