시설/장비
전계방사형 주사전자현미경
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전계방사형 주사전자현미경
FE-SEM, Field-Emission Scanning Electron Microscope
- 제조사Thermo-Fisher Scientific
- 응용분야생명, 화학, 물리, 재료 과학 분야
- 주용도시료의 표면 이미징 촬영, 표면의 원소 성상, 결정의 구조 및 방향성 분석
장비사양
- ModelApreo 2S
- SourceZrO/W Schottky field emission electron gun
- Accelerating voltage0.2 - 30kV
- Landing energy range20eV - 30keV
- Beam Current1pA - 50nA
- ColumnHigh resolution NiCol FE-SEM column
- Resolution0.5nm at 15kV (with BD)
0.8nm at 1kV (with BD)
1.0nm at 1kV
0.7nm at 30kV (with STEM) - StagesEucentric goniometer stage
5 axes motorized - Tilt-15˚/+90˚
- DetectorEverhart-Thornley SE Detector (ET-SED)
In-Column Detector(T1, T2, T3)
Retractable DBS Detector
Retractable STEM 3+ Detector - Other optionsCoater (Leica ACE600)
EDS & EBSD (Oxford UM100 & Symmetry)
이용료
| 구분 | 연구시설장비명 | 단가 | 이용료(원) |
|---|---|---|---|
| 일반현미경 | 전계방사형 주사전자현미경 | 시간 | 60,000 |
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