Equipment
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Dual Mask Aligner
(양면 정렬 마이크로패턴 노광장비) -
E-beam evaporator
(무라돈 환경 전자빔 증착 시스템) -
High purity gas supply system
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Inductively Coupled Plasma Mass Spectrometer (ICP-MS)
유도 결합 플라즈마 질량분석기 -
Inductively Coupled Plasma Reactive Ion Etcher (ICP-RIE) and End Point Detector (EPD)
(유도 결합 플라즈마 방식 반응성 이온 식각장치와 식각완료면 정밀측정기) -
Karl-Fisher titrator
(칼피셔 수분측정기) -
Kyropoulos single crystal grower
(키로플로스 단결정 육성장치) -
Low temperature PECVD
(저온플라즈마 화학기상증착장비) -
Low vibration Pulse tube base 4 K refrigerator
(맥동관 냉동기 기반의 저진동 4 K 냉동기)
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